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DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機DH500ZZS使用說明書

該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設備，該鍍膜機功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。

　　鍍膜機的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規(guī)范、精致，具有高真空度、高清潔度，可以保證材料的成膜純度。

　　采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。配備270°E型電子束蒸發(fā)源，電源穩(wěn)定，控制精度高，帶有高壓自動滅弧復位裝置，操做簡便，性能可靠。

　　適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。

　　◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；

　　◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復真空：從大氣抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；

　　◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機械泵與分子泵組成；

　　◆ 真空測量系統(tǒng)：數(shù)顯復合真空計；

　　◆ 蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：E型電子槍，功率0～6KW可調(diào)；電阻蒸發(fā)源：功率3kW/10V兩組；

　　◆ 工件烘烤溫度：室溫～350℃可控可調(diào)（PID控溫）；

　　◆ 選配件：光學膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；

　　◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。

　　◆ 特殊規(guī)格可定制。

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機DH500ZZS使用說明書

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